和韩阳设计的自检系统相比，非常落后。

看着韩阳那认真的眼神，伯灵院士苦笑着说，“韩总，我们的自检模块做不到这种程度。”

“需要进行质量检测。”

然后，他眼神炙热的看向韩阳，“韩总，我记得你说过，要提供全套技术给我们。”

“等第一台机器试验通过后，请你将自检模块的设计提供给我们，好吗？”

“没问题！但需要一些时间。”韩阳点了点头，开始给伯灵院士演示自检模块的使用方法。

“开始进行光源、工作台、镜头自检……”

“自检中……”

“光源自检完成，光源稳定输出功率300瓦，光波193纳米，设备正常。”

“工作台运行正常，运行精度2纳米。”

“镜头工作正常，透光率，清洁度，安装位置达到生产要求。”

“自检完成，核心组件运行正常。”

在韩阳运行自检程序的时候，所有人都紧张的盯着大屏幕看，看到自检系统提示，核心组件运行正常的时候，所有人都松了一口气。

然后，所有人都看向了伯灵院士。

“测试组，安装硅片！”

“安装测试掩膜！”

在测试组的紧张工作下，所有准备工作完成。

伯灵院士又仔仔细细检查了一番机器的状态，最终对韩阳说，“韩阳，你来和我一起按下这个生产按钮！”

“好！”韩阳没有推迟，他大步来到伯灵院士身边，然后和紧张得浑身冒汗的伯灵院士，一起按下了红色的启动按钮。

顿时，一块硅片被传送装置送到中间的工件台上。

工件台将硅片位置固定后，工件台快速而又精准的移动到镜头的下方。

蓝紫色的光芒从镜头中照射而出，照射到硅片上。

每一次蓝紫色的光芒闪过，工件台就以极快的速度移动，速度极快，如同幻影一般。

很快，第一批加工好的硅片从机器的左边被传送出来，然后被机械手臂传送到下一台机器中进行显影，清洗，烘干等操作。

最终，经过一系列处理的硅片，被送到纳米级光学显微镜下观察。

显微镜观察到的画面，同步投影到大屏幕上。

科学院的几个专家全神贯注的看向大屏幕，足足看了十多分钟，科学院光电所的吴起院士声音中带着喜悦开口。

“光刻位置定位准确！”

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