光刻机内部各种部件按照既定路线周期性的运动，紫色的光束在在面镜和透镜的作用下或改变形状或改变路线，最终投射到机台上，刻画出图案并完成

《年近三十，科技立业》第126章 成本过高的问题，数字掩膜版技术

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